Совместная лаборатория ALD Мордовского государственного университета и Beneq Oy

4 сентября в Мордовском государственном университете им. Н. П. Огарева состоится официальное открытие лаборатории по изучению тонкопленочных технологий (100 нм и менее), полученных методом атомно-слоевого осаждения (atomic layer deposition, ALD) на оборудовании TFS200 компании Beneq. Открытие лаборатории — это очередной шаг в реализации стратегии формирования национальной наноиндустрии вследствие развития технологий синтеза наноструктурированных материалов на основе процесса ALD.

В рамках официального открытия лаборатории между Мордовским государственным университетом и Beneq Oy будет подписано соглашение о долгосрочном сотрудничестве в области развития тонкопленочных технологий. Обладая высоким научным потенциалом, Мордовский университет переходит от области теоретических изысканий к практической реализации исследований и разработки инновационных продуктов на базе технологии ALD благодаря тесному взаимодействию с финской компанией Beneq Oy, производителем тонкопленочного оборудования, и компанией «ЭлТех СПб», специализирующейся на создании наукоемких производств.

Актуальность технологии ALD обусловлена практической возможностью управления свойствами материалов на атомарном уровне при нанесении слоев практически любого элементного состава, структуры и толщины для достижения требуемых характеристик с одновременным прецизионным контролем этих параметров. Спектр практического использования нанотехнологии ALD предполагает применение разнообразных барьерных пленок для электроники и тонких пленок в фотовольтаике, оптических и биосовместимых покрытиях, в процессе упрочнения стекла, а также при защите материалов от потускнения и коррозии.

Деятельность лаборатории будет нацелена на решение широкого круга задач: это проведение прикладных исследований ALD, демонстрация возможностей ALD, интеграция ALD в промышленность, реализация примеров мирового опыта в ALD, изготовление и анализ образцов, услуги по нанесению покрытий и пилотное производство, а также обучение технологиям и работе на оборудовании ALD.
Компании «ЭлТех СПб» и Beneq Oy обеспечат лабораторию необходимым оборудованием и поддержкой.

«ЭлТех СПб»