Lanxess модернизировала ионообменную смолу для применения в системах водоподготовки в электронной промышленности

Компания Lanxess, производящая специальные химические вещества, модернизировала свою ионообменную смолу Lewatit K 7333, чтобы ее можно было использовать для удаления кислорода в электронной промышленности.

Усовершенствованная полимерная матрица в сочетании с модифицированной формулой теперь позволяет производить легированный палладием сильнощелочной анионообменник с очень высокой степенью чистоты, что позволяет использовать его для производства сверхчистой воды (UPW) для производства полупроводников.

Насыщенная кислородом вода проходит через фильтр, заполненный Lewatit K 7333. В противотоке через фильтр проходит водород. Ионообменник, легированный палладием, действует как катализатор, а водород и кислород реагируют в процессе «холодного сгорания» с образованием воды.

Lewatit K 7333 также можно использовать для каталитического удаления перекиси водорода без использования водорода.

Производство полупроводников использует ошеломляющее количество UPW воды — от 7 до 12 миллионов литров в день. Создание процессов, которые могут очищать такое количество воды в соответствии с такими строгими требованиями, поддерживать ее чистоту до тех пор, пока она не понадобится, и перерабатывать ее, где это возможно, является огромной проблемой.

При производстве UPW воды применяется несколько технологий водоочистки. Это и системы осмоса для промышленности, и обработка ультрафиолетовым излучением, и удаление электрически заряженных примесей с помощью ионообменной обработки.