МЭМС-гироскопы и акселерометры Silicon Sensing: английские традиции, японские технологии

История

Компания Silicon Sensing Systems Ltd. была образована в 1999 году в Плимуте, Великобритания, как совместное предприятие BAE Systems UK и Sumitomo Precision Products (SPP, Амагасаки, Япония).

К тому времени британский партнер имел весьма внушительное генеалогическое древо. История компании началась в 1913 году, когда в лондонском районе Пимлико на мощностях фабрики Sperry Gyroscope Company Limited было налажено производство гироскопических приборов для нужд Британского королевского флота (рис. 1). Одной из первых серийных моделей, поставленных на поток в преддверии Первой мировой войны, стал гирокомпас MK1 конструкции инженера и изобретателя Элмера Сперри. Гирокомпасы и «механические рулевые» — автопилоты Metal Mike фирмы Sperry в ощутимых количествах применялись и на кораблях Российского императорского флота.

Рис. 1. Ранние модели гироскопов Sperry (источник: патент US1186856)

Другие «прародители», обеспечившие компании значимое положение среди разработчиков и поставщиков оборудования для морских и авиационных систем навигации, — Kearfott, Singer, Plessey, GEC Marconi, British Aerospace. В настоящее время половиной активов совместного предприятия владеет UTC Aerospace Systems, в состав которой последовательно вошли Atlantic Inertial Systems и Goodrich.

Японский партнер SPP с начала 1960-х гг. также является одним из ключевых поставщиков национальной авиационной индустрии, владеет современными технологическими процессами и оборудованием для разработки и производства МЭМС-компонентов. Его собственные производственные мощности приближаются к 130 000 м², а штат сотрудников достигает почти 1500 человек.

Эволюция технологий

Silicon Sensing традиционно применяет для своих гироскопов кольцевые чувствительные элементы вибрационного типа. Первоначально это были сравнительно крупные и массивные цилиндрические керамические роторы с металлизацией на внешней поверхности — поколение VSG1, 1985 год. Тем не менее для своей эпохи микромеханическая конструкция была довольно прогрессивной. В 1995 году на смену керамике пришло металлическое кольцо поколения VSG2.

Настоящий прорыв случился после того, как в 1998-м появился первый достаточно стабильный чувствительный элемент индукционного типа, выполненный по технологии МЭМС, — VSG3. Диаметр кольца — 6 мм, толщина кремниевой структуры — 100 мкм, ширина каждого подвеса Z-образной ножки — 60 мкм, на подвесе умещается три токоведущие дорожки (рис. 2).

Рис. 2. Внешний вид чувствительного элемента поколения VSG3

У поколения VSG3 оказался значительный потенциал для модернизации. Несмотря на то, что с 2001 года на базе этой технологии выпущено более 20 млн высокостабильных гироскопов семейства CRS с чувствительными головками SGH01 и SGH02, новейшие модели, такие как SGH03, используют ту же базовую технологию, но обеспечивают в несколько раз более высокую стабильность и устойчивость к температурным воздействиям. Минимальный размер такого гироскопа в плане — 22×22 мм, герметичный металлический корпус, в котором кроме чувствительного элемента содержится контур возбуждения и формирования выходного аналогового сигнала, позволяет применять прибор в условиях различных внешних воздействий в расширенном диапазоне температур (рис. 3).

Рис. 3. Гироскоп семейств CRS, СRH, SiRRS:
а) конструкция;
б) блок-схема

В 2006 году потребители получили гироскопы очередного поколения — VSG4, на этот раз c вибрирующим кольцом емкостного типа. Элемент теперь помещался в 36-выводном металлокерамическом корпусе, предназначенном для автоматизированного поверхностного монтажа. Так, наиболее известный гироскоп данного семейства CRG20 (рис. 4) занимал уже в 20 раз меньший объем в приборном отсеке по сравнению с самыми компактными гироскопами CRS.

Рис. 4. Внешний вид гироскопа CRG20 без крышек

Повысилась вибрационная стойкость, расширился диапазон измеряемых угловых скоростей, благодаря встроенному специализированному микроконтроллеру (рис. 5а) и формирователю шины у пользователя появилась возможность получать не только аналоговый, но цифровой сигнал SPI.

Рис. 5. Гироскоп семейства CRG20:
а) конструкция;
б) блок-схема

Новейшее поколение VSG5 представлено в 2010 году. Пьезокерамический чувствительный элемент диаметром 3 мм и схему управления и формирования сигнала удалось уместить в более компактном металлокерамическом корпусе, в очередной раз увеличилась вибрационная и ударная стойкость, расширилась полоса пропускания, уменьшились собственные шумы, появилась возможность измерять угловые скорости до 1200-2700°/с. Существенным новшеством стало наличие в семействе PinPoint CRM (рис. 6) и Orion CMS нескольких типов корпусов с различным положением чувствительного элемента — с поворотом на 90° или 30°, что позволило потребителю легко формировать прямо на печатной плате многокомпонентные сборки без применения дополнительных адаптеров. Немаловажное преимущество новых моделей — снижение в несколько раз цены гироскопа по сравнению с предыдущим поколением. К настоящему времени потребителям отгружено около 1 млн штук гироскопов поколения VSG5.

Рис. 6. Конструкция гироскопа семейства CRM

На рис. 7 приведены сравнительные размеры чувствительных элементов поколений VSG1-VSG5 и гироскопов на их основе.

Рис. 7. Эволюция гироскопов Silicon Sensing

Продукция и рынки

Гироскопы

Опыт показывает, что для решения конкретной технической задачи основными критериями при выборе гироскопа являются следующие параметры: диапазон измеряемых угловых скоростей, ширина полосы пропускания и уровень собственных шумов, тип интерфейса — аналоговый или цифровой, цена с учетом совокупных технических характеристик. Анализ линейки продукции и статистика продаж подтверждают, что Silicon Sensing успешно конкурирует на многих рынках благодаря грамотной технической и ценовой политике.

Недорогие массовые изделия

Это рынок, на который идеально «настроены» гироскопы PinPoint CRM100/CRM200, CRM120, их вибростойкие версии CRM102/CRM202, а также гибридные сборки Orion CMS300/CMS390. Внешний вид гироскопов CRM100, CRM102, CRM200, CRM202 показан на рис. 8.

Рис. 8. Внешний вид гироскопов:
а) CRM100, CRM102;
б) CRM200, CRM202

Особенности гироскопов: миниатюрные, малопотребляющие, имеют невысокие собственные шумы, наличие двух типов корпусов для создания ортогональных трехосевых комплектов, устанавливаемые пользователем полоса пропускания и диапазон угловых скоростей, возможность конфигурации для работы с аналоговым или цифровым выходным сигналом, высокая устойчивость к ударам и вибрации.

Основные области применения:

• курсовертикали для малой авиации;
• автомобильные системы стабилизации и курсовой устойчивости;
• дистанционно управляемые модели вертолетов;
• автономные напольные транспортные тележки;
• измерительное оборудование;
• ручной и стационарный электроинструмент;
• системы распознавания жестов;
• персональные системы навигации и ориентирования в сочетании с глобальными навигационными спутниковыми системами (ГНСС);
• системы стабилизации антенн, камер и подвесов.

Гироскопы PinPoint на протяжении многих лет применяются в системах управления знаменитых электросамокатов Segway, а также в некоторых серийных изделиях российских предприятий.

Для ускорения ОКР и интеграции гироскопов в новые изделия Silicon Sensing выпускает макетные платы 400046-0100, 400046-0200, 400046-0300 (рис. 9) с установленными гироскопами, электронными компонентами, перемычками для формирования различных режимов работы и готовыми контактными площадками для подключения к внешним интерфейсам. Очень часто потребители используют такие платы в качестве OEM-компонентов для встраивания в собственные изделия.

Рис. 9. Внешний вид макетных плат:
а) 400046-0100;
б) 400046-0200;
в) 400046-0300

Средний ценовой диапазон, серийные изделия

Здесь безусловным лидером является семейство гироскопов CRG20 (рис. 10) и инерциальный измерительный модуль на их основе DMU02.

Рис. 10. Внешний вид гироскопа семейства CRG20

Основные параметры: миниатюрные, сравнительно недорогие, оснащенные аналоговыми и цифровыми интерфейсами, высокостабильные, прошедшие индивидуальную калибровку в заводских условиях для работы в расширенном диапазоне температур.

Области применения:

• недорогая авионика — курсовертикали и пр.;
• автомобильные регистраторы параметров движения и системы навигации;
• дистанционно управляемые модели вертолетов;
• беспилотные летательные и подводные аппараты;
• телеуправляемые наземные транспортные механизмы;
• измерительное и указательное оборудование;
• ручной и стационарный электроинструмент;
• системы распознавания жестов;
• персональные системы навигации и ориентирования в сочетании с ГНСС;
• системы стабилизации антенн, камер и подвесов;
• управление кранами, погрузчиками, сельскохозяйственной техникой и навесными приспособлениями для нее;
• полигонное оборудование для испытания транспортных средств;
• траекторные регистраторы, автопилоты;
• биомеханические исследования.

Для гироскопов семейства CRG20 доступны не только макетные платы CRG20-xx-0300 (рис. 11а), но и полноценные отладочные наборы USB01-00-0100 (рис. 11б) c преобразователем интерфейса и программным обеспечением для комфортной работы в среде Windows.

Рис. 11.
а) Макетная плата CRG20-xx-0300;
б) отладочный набор USB01-00-0100

Различные модификации CRG20 (табл. 2), как и инерциальный модуль DMU02, имеют стабильный сбыт на территории России.

Особо ответственные применения

Таким задачам в наибольшей степени соответствуют гироскопы с наивысшими среди продукции Silicon Sensing техническими характеристиками, максимально близкими к уровню волоконно-оптических гироскопов (ВОГ): CRS09, CRS39, CRH01, SiRRS01 (рис. 12).

Рис. 12. Внешний вид гироскопов:
а) CRS09;
б) SiRRS01;
в) CRS39-01;
г) CRS39-02;
д) CRH01

Основные параметры: высокие эксплуатационные характеристики, высокая точность, высокая стабильность, только аналоговый выход, встроенные температурные датчики, дополнительные порты для коррекции извне.

Основные области применения:

• высокоточное навигационное оборудование — курсовертикали;
• системы контроля и управления;
• прецизионные измерения;
• высокоточные системы стабилизации антенн, камер и подвесов;
• беспилотные летательные и подводные аппараты;
• геодезические системы;
• системы контроля состояния рельсовых путей и стабилизации положения рельсовых транспортных средств.

Специальные версии SiRRS01 успешно применяются в проектах Европейского космического агентства и имеют подтвержденный уровень радиационной стойкости, заявленный средний срок службы до отказа для этой модели составляет 300 000 часов по методике MIL-HDBK-217F.

Один из первых образцов новейшего гироскопа CRS39-01, созданного для геофизических работ, сразу после мировой премьеры был опробован отечественными специалистами и вскоре применен в измерительном оборудовании для нефтегазодобывающей отрасли.

Кольцевые вибрационные гироскопы индукционного типа прежних серий — CRS03 (рис. 13, табл. 3) и CRS07 (рис. 14, табл. 3) ощутимо дешевле своих новых собратьев, но, даже уступая им по эксплуатационным характеристикам, по-прежнему пользуются стабильным спросом и массово применяются в системах стабилизации спутниковых антенн и промышленном, технологическом оборудовании.

Рис. 13. Внешний вид гироскопов серии CRS03:
а) CRS03-01S и CRS03-05S;
б) CRS03-02S и CRS03-04S;
в) бескорпусного CRS03-11S

Рис. 14. Внешний вид гироскопов серии CRS07:
а) CRS07-02S;
б) бескорпусных CRS07-11S и CRS07-13S

Для гироскопов семейств CRS03, CRS07, CRS09 (табл. 3) выпускаются отладочные комплекты CG9230 и СВ0026 (рис. 15).

Рис. 15. Отладочные комплекты:
а) CG9230;
б) СВ0026

Акселерометры

Стремясь быть лидером на рынке инерциальных датчиков и систем, компания Silicon Sensing не могла оставить без внимания компоненты для измерения параметров линейного движения, тем более что до недавнего времени была вынуждена в собственном инерциальном измерительном модуле применять акселерометры стороннего производителя.

Итогом целенаправленной научной разработки и совершенствования собственной технологии МЭМС-компонентов стал выпуск семейства 2-компонентных сборок прецизионных акселерометров емкостного типа Gemini CAS200 в компактных металлокерамических корпусах.

Каждый чувствительный элемент представляет собой подпружиненную массу в виде гребенки, которая может совершать ограниченные перемещения внутри другой, неподвижной гребенки. Изменение емкости вследствие увеличения и уменьшения расстояния между «пальцами» гребенок пропорционально линейному ускорению (рис. 16).

Рис. 16. Чувствительный элемент 2-осевого акселерометра семейства Gemini CAS200

Чувствительный элемент изготовлен по технологии «кремний-на-стекле», структура из кристаллического кремния расположена в полости между двух стеклянных пластин. Блок из двух ортогональных акселерометров вместе со специализированным управляющим контроллером помещен в наполненный азотом частично вакуумированный металлокерамический корпус размером 10,4×6×2,2 мм — такая конструкция лучше противостоит конденсации влаги в корпусе в сравнении с пластиковыми корпусами, применяемыми другими производителями (рис. 17).

Рис. 17. Конструкция 2-осевого акселерометра семейства Gemini CAS200

Линейка акселерометров в настоящее время состоит из пяти моделей CAS211-CAS215 (рис. 18а), перекрывающих диапазон измерений от 0,85 до 96g. По аналогии с апробированным на миниатюрных гироскопах семейства CRM решением, для каждой из базовых моделей предусмотрена комплементарная пара с ортогональным расположением блока чувствительных элементов CAS291-CAS295 (рис. 18б). Этот набор компонентов позволяет не только создавать компактные измерительно-управляющие системы на плате, но и обеспечивать горячее резервирование или взаимную коррекцию показаний.

Рис. 18. Внешний вид 2-осевых акселерометров семейства Gemini CAS200:
а) CAS211-CAS215;
б) CAS291-CAS295

Основные показатели: наличие аналогового и цифрового выхода, высокие линейность и стабильность, незначительные собственные шумы, широкая полоса пропускания, встроенный температурный датчик, расширенный диапазон рабочих температур, малая потребляемая мощность, низкая удельная стоимость.

Основные области применения:

• навигационное оборудование — курсовертикали и пр.;
• системы курсоуказания;
• геофизическое и буровое оборудование;
• системы стабилизации камер, платформ и подвесов;
• транспортное оборудование, беспилотные системы.

Следуя концепции поддержки пользовательских разработок, для каждой из моделей семейства производитель предлагает макетную плату CAS2xx-02-0300 размером 24×36 мм с краевым многоконтактным разъемом для подключения к аппаратуре управления и сбора данных (рис. 19, табл. 4). Цена платы с компонентами весьма незначительно превышает стоимость самого датчика, что оказывается приятным сюрпризом для разработчика.

Рис. 19. Макетная плата CAS2xx-02-0300

Таблица 4. Основные характеристики 2-осевых акселерометров семейства Gemini CAS200 и отладочных средств

Характеристики		Gemini CAS200 (CAS211/291, 212/292, 213/293, 214/294, 215/295)
Тип корпуса/Размер, мм		LCC14/10,4×6×2,2
Способ подключения		пайка
Интерфейс		аналоговый; SPI
Диапазон измерений, g		±0,85; ±2,5; ±10; ±30; ±96
Дрейф нуля на температурном диапазоне, мg		±50; ±50; ±50; ±150; ±500
Чувствительность (масштабный коэффициент)	LSB/g	33 500; 11 000; 2800; 1050; 300
	мВ/g	1150; 375; 96; 36; 10
Температурное смещение чувствительности, %		1,2
Нелинейность чувствительности (от полной шкалы), %		0,5; 0,5; 2; 2; 2
Собственный шум (СКЗ), мкg√Гц		50; 150; 150; 350; 1200
Полоса пропускания, Гц		170/250
Диапазон рабочих температур, °С		-40…+125
Стойкость к ударам, g		1000 (полусинусоидальный, 1 мс)
Коэффициент сглаживания вибраций, мg/g2		0,15; 0,15; 0,15; 0,1; 0,1 (случайный в полосе 20-20 000 Гц)
Время включения, с		0,15
Напряжение питания, В		+2,7…+3,6
Потребляемый ток, мА		3-5
Вес, г		0,4
Макетная плата		CAS2xx-02-0302

Инерциальные измерительные модули

Успехи в развитии технологий МЭМС привели к миниатюризации и радикальному удешевлению инерциальных датчиков, что, в свою очередь, вызвало лавинообразный рост спроса на них во множестве отраслей — от промышленности, транспорта и военной техники до бытовых приборов и индустрии развлечений. Многие производители, следуя потребностям рынка, начали предлагать комплексные решения — инерциальные измерительные модули, содержащие три оси гироскопа, три оси акселерометра, а также имеющие возможность интеграции в этот же блок электронного компаса — магнитометра, барометра и даже приемника ГНСС. В подавляющем большинстве приложений заказчику достаточно информации о линейной и угловой скорости в трехмерном пространстве.

Решению таких задач в наибольшей степени соответствует концепция измерительного модуля с 6 степенями свободы, реализованная фирмой Silicon Sensing в модели DMU02 (рис. 20). Эта относительно недорогая сборка в защищенном корпусе размером 25×25×25 мм построена на трех гироскопах CRG20 и 3-осевом акселерометре, имеет цифровой интерфейс SPI и диапазон измерений ±300°/с для канала гироскопа и ±6g для канала акселерометра. Для обмена данными с модулем на этапе разработки системы производитель предлагает использовать отладочный набор USB01-00-0100.

Рис. 20. Внешний вид инерциального измерительного модуля DMU02

Основная область применения DMU02 — системы со средними ценовыми и техническими показателями, например системы стабилизации камер на БПЛА, системы контроля курса в дистанционно управляемых или беспилотных транспортных средствах.

В 2012 году фирма представила комплементарную пару комбинированных датчиков семейства Orion CMS300/CMS390 (рис. 21). Удачно сочетая собственные ранее отработанные технические решения, производитель разместил в металлокерамическом корпусе размером 10,4×6×2,2 мм гироскоп с осью чувствительности Z и два акселерометра с осями чувствительности X и Y. Таким образом получился функционально законченный гибридный блок, способный выполнять функции системы курсовой устойчивости для наземного транспорта. Логичным продолжением этой концепции стал парный модуль — с ортогональным расположением аналогичного блока датчиков. Применение этой пары сделало возможным создание весьма недорогих многоосевых систем управления движением с горячим резервированием внутри блока. Компоновка чувствительных элементов в корпусе CMS300 показана на рис. 22.

Рис. 21. Внешний вид комбинированных датчиков семейства Orion:
а) CMS300;
б) CMS390

Рис. 22. Расположение датчиков в гибридной сборке CMS300

Основные показатели: только цифровой выход, высокая точность и стабильность, широкая полоса пропускания, высокая стойкость к влиянию ударов и вибраций, расширенный диапазон рабочих температур, возможность индивидуально конфигурировать диапазон измерений и полосу пропускания для каждого канала гироскопа и акселерометра, малая потребляемая мощность, низкая удельная стоимость.

Основные области применения:

• экономичное навигационное оборудование;
• измерительные системы;
• роботизированное оборудование;
• инклинометры для тяжелых условий эксплуатации.

Макетные платы CMS300-02-0302 и CMS390-02-0302 (рис. 23, табл. 5) имеют уже привычный размер 24×36 мм и позволяют транслировать сигнал датчика сразу после извлечения платы из заводской упаковки.

Рис. 23. Макетные платы:
а) CMS300-02-0302;
б) CMS390-02-0302

Таблица 5. Основные характеристики инерциальных измерительных модулей, комбинированных датчиков и отладочных средств для них

Характеристики		Orion CMS300	Orion CMS390	DMU02
Состав		гироскоп + 2-осевой акселерометр		3-осевой гироскоп + 3-осевой акселерометр
Тип корпуса/Размер, мм		LCC12/10,4×6×2,2	LCC12/10,4×6,7×2,7	защищенный корпус/25×25×25
Способ подключения		пайка		штыревые выводы
Интерфейс		SPI		SPI
Диапазон измерений	акселерометр, g	±2,5; ±10		±6
	гироскоп, °/с	±150; ±300		±300
Дрейф нуля на температурном диапазоне	акселерометр, мg	±30; ±75		±5,5
	гироскоп, °/c	±1,75; ±1		±2,5
Чувствительность (масштабный коэффициент)	акселерометр, LSB/g	12 800; 3200		273
	гироскоп, LSB/° /с	204,8; 102,4		32
Температурное смещение чувствительности, %	акселерометр	<±2,5; ±1		±2
	гироскоп	<±2; ±1		±2,5
Нелинейность чувствительности, %	акселерометр	<±0,5; <±0,12		0,5
	гироскоп	<±0,17; <±0,10		0,15
Собственный шум (СКЗ)	акселерометр, мg	2; 1		15
	гироскоп, °/c	0,1; 0,06		<0,5
Полоса пропускания, Гц	акселерометр	45; 62; 95; 190		400
	гироскоп	45; 55; 90; 117		>40
Диапазон рабочих температур, °С		-40…+125		-40…+85
Стойкость к ударам, g		95 (полусинусоид., 6 мс)		95 (полусинусоид., 6 мс)
Стойкость к вибрации (СКЗ), g		8,85 (в полосе 10-5000 Гц)		8,8 (в полосе 10-2000 Гц)
Время включения, с		0,15-0,3		<0,5
Напряжение питания, В		+3,15…+3,45		+4,75…+5,25
Потребляемый ток, мА		8		< 200
Вес, г		0,4; 0,6		17
Средства поддержки разработчиков		макетная плата		отладочный набор
		CMS300-02-0302	CMS390-02-0302	USB01-00-0100

 

Новые изделия

Особенностью команды Silicon Sensing является поддержание обратной связи с клиентами, это позволяет оперативно разрешать возникающие у потребителей технические проблемы, а сама компания приобретает глубокое понимание потребностей рынка, что помогает концентрировать усилия на прорывных направлениях.

В настоящий момент наиболее ожидаемое событие — анонс коммерческих изделий на основе самого современного чувствительного элемента индукционного типа SGH03 с увеличенной добротностью (поколение VSG3^QMAX). Предполагается, что гироскоп CRS39-03 c SGH03 «на борту» сможет обеспечить дрейф нуля не более 0,08-0,1°/ч, уже позволяющий реализовать функцию указания на Северный полюс; показатель случайного ухода не более 0,0083-0,015°/√ч (дисперсия Аллана) и собственный шум в состоянии покоя не более 0,01°/с, что вполне сопоставимо с характеристиками ВОГ (рис. 24).

Рис. 24. Прототип гироскопа CRS 39-03

Еще одно событие, запланированное на 2014 год, — начало серийного выпуска нового семейства 6-компонентных инерциальных измерительных модулей DMU10, которые призваны заместить «долгожителя» DMU02. В новом модуле применено три комбинированных датчика семейства Orion, три оси гироскопа имеют диапазон измерения по ±300°/с, три оси акселерометра обеспечивают измерения в диапазоне ±10g. Заявленная точность гироскопов ±0,1-0,25°/с, акселерометров ±0,01g, полоса пропускания 117-190 Гц. Дополнительно в модуле установлено два независимых датчика температуры, отградуированных для измерений в диапазоне –55…+ 100 °C. Впервые в изделиях Silicon Sensing обмен данными организован по интерфейсу RS-422. Благодаря новой компонентной базе, DMU10 будет отличаться низким уровнем энергопотребления — до 60 мА при напряжении питания 3,3–5 В. Модуль доступен в двух вариантах: бескорпусный DMU10-01 — OEM-плата с габаритными размерами 22×37×11 мм и DMU10-02 — в прочном анодированном алюминиевом корпусе с габаритами 25×45×16 мм (рис. 25).

Рис. 25. Внешний вид инерциальных измерительных модулей:
а) DMU10-01;
б) DMU10-02

Кроме того, фирма сообщила о начале работ по созданию малогабаритного дешевого 11-компонентного модуля для измерения параметров движения, в котором планируется использовать компоненты семейств PinPoint, Orion и Gemini. Этот модуль также будет содержать электронный магнитный компас и барометрический датчик.

 

Производство заказных полупроводниковых кристаллов — foundry

В 2013 году компания Silicon Sensing впервые объявила об открытии доступа к своим мощностям для желающих разместить в производство МЭМС-компоненты собственной разработки, такие как акселерометры, головки струйных принтеров, микрофоны, микронасосы, гироскопы, зеркала, ультразвуковые датчики, радиочастотные компоненты, а также «сборщики энергии» — узлы преобразования различных видов энергии в электрическую.

Разработчикам предоставляется набор для проектирования с технологическими нормами и библиотеками стандартных элементов. Размещение в производство производится как на мультипроектных полупроводниковых пластинах диаметром 4″, 5″, 6″ (кремний, КНИ), так и в составе малосерийного «инженерного» запуска. В одной из будущих публикаций мы постараемся осветить эту тему подробнее.