отправка...Филиал «Камертон» холдинга «ИНТЕГРАЛ»
Пластины монокристаллического кремния
Пластины монокристаллического кремния (пластины монокристаллического кремния имеют закругленный край (фаску), ориентированную базовую метку (лунку или срез), маркировку в виде лазерных маркировочных надписей или дополнительного (маркировочного) среза. Рабочая сторона пластин монокристаллического кремния полирована суспензиями диоксида кремния.) изготавливают по ТУ РБ 200181967.026-2002 (распространяются на рабочие и контрольные пластины монокристаллического кремния диаметром 76, 100, 150 мм), ТУ РБ 200181967.151-2010 (распространяются на пластины диаметром 100, 150, 200 мм для изделий с проектными нормами 1,2; 0,8; 0,5; 0,35 мкм) или согласованным с заказчиком спецификациям из слитков монокристаллического кремния по ТУ 48-4-295, ГОСТ 19658 или согласованным с заказчиком спецификациям конкретной марки и группы (по согласованию изготовителя и заказчика отдельные параметры пластин монокристаллического кремния, методы контроля, не ухудшающие качества изделия, могут быть изменены, что находит отражение в договоре или протоколе на поставку).
|
Легирующие элементы |
Фосфор, бор, мышьяк, сурьма |
|---|---|
|
Тип проводимости |
п, р |
|
Ориентация слитков |
(111), (100), (110) |
|
Удельное сопротивление, Ом·см |
0,003–80 |
|
Радиальный градиент удельного электрического сопротивления, % |
Определяются ТУ 48-4-295, ГОСТ 19658 или согласованными с заказчиком спецификациями |
|
Концентрация атомов междоузельного кислорода, см–3 |
|
|
Радиальный градиент концентрации атомов междоузельного кислорода, % |
|
|
Концентрация атомов замещения углерода, см–3 |
|
Технические условия на пластины монокристаллического кремния, спецификации |
|||||||||||||||||||
|
Рабочие пластины |
Контрольные пластины |
||||||||||||||||||
|
ТУ РБ 200181967.026-2002 |
ТУ BY 100386629.151-2010 |
ТУ РБ 200181967.026-2002 |
ТУ BY 100386629.151-2010 |
||||||||||||||||
|
СП1 |
СП2 |
СП3 |
СП4 |
СП6 |
СП7 |
СТ1 |
СТ2 |
СТ3 |
СТ4 |
СТ5 |
СП10 |
СП10R |
СТ10Т |
СТ10М |
СТ10R |
||||
|
Диаметр, мм |
76 |
100 |
150 |
100 |
150 |
200 |
76 |
100 |
150 |
100 |
150 |
200 |
|||||||
|
Ориентация поверхности пластины, предельное отклонение, град. |
0 ±0,5; 4 ±0,5 |
0 ±0,5 |
0 ±2, 4 ±2 |
|
|
||||||||||||||
|
Толщина, мкм |
380 ±20 |
460 ±20 |
|
460 ±20 |
|
725 ±20 |
340 380 |
440; 460; |
655; 675; 695 |
|
725 |
600; 660; 690 |
|||||||
|
Клин (TTV), мкм, не более |
20 |
15 |
|
7 |
|
5 |
3 |
40 |
50 |
|
10 |
25 |
|||||||
|
Предельное отклонение |
|
±30 |
±40 |
±50 |
|
±30 |
|||||||||||||
|
Общее отклонение от плоскостности (TIR), мкм, не более |
– |
– |
9 |
|
– |
|
– |
– |
|
|
|
||||||||
|
Отклонение от плоскостности на локальном участке, мкм, не более |
– |
|
– |
STIR — 3,8 |
|
STIR — |
|
SFQR — |
SFQR — 0,35 |
|
|
SFQR — |
|
||||||
|
Прогиб, мкм, не более |
30 |
40 |
|
40 |
|
40 |
50 |
60 |
100 |
|
50 |
100 |
65 |
||||||
|
Характер поверхности нерабочей стороны |
шлифовано-травленая |
шлифовано-травленая |
шлифовано-травленая полированная резано-травленая |
шлифовано-травленая |
|||||||||||||||
Примечание. Пример записи при заказе, термины и определения, методы контроля приведены в соответствующих технических условиях.
Пластины монокристаллического кремния могут использоваться в качестве рабочих и тестовых, или контрольных. Тестовые образцы изготавливаются из монокристаллического кремния или путем рес-таврации некондиционных пластин кристального производства.
Филиал «Камертон»
Ул. Брестская, д. 137, г. Пинск, Бестская обл., 225710, Республика Белорусь
Тел.: приемная (+375 165) 34-32-94,
бюро маркетинга и сбыта (+375 165) 34-98-33,
Факс (+375 165) 34-60-61
E-mail: kamerton_sby@tut.by, Kamerton-40@mail.ru