Спектр областей, в которых востребованы технологии и устройства, объединяющие в себе микроэлектронные и микромеханические компоненты, в последнее время стремительно расширяется. Несмотря на то, что российский рынок нишевых МЭМС объективно обладает хорошим потенциалом, ситуация с разработкой, производством и развитием подобной микросистемной техники в нашей стране далека от желаемой. Восполнить ...