В статье приводятся примеры реализации разработанных в ОАО «НИИФИ» конструктивно-технологических решений (КтР) объемных кремниевых микроэлектромеханических структур (МЭМС). МЭМС необходимы при создании широкой номенклатуры микроэлектронных датчиков физических величин для ракетно-космической техники и общепромышленного применения.