Технология плазменного травления была разработана для процесса производства полупроводниковых элементов и оказала огромное влияние на травление тонкого рисунка, на сухие и низкотемпературные процессы. Полупроводниковые изделия и сборки, в свою очередь, становятся легче и компактнее. Производство корпусов микросхем нуждается в высококачественных сухих процессах вместо процессов механизированной ...