Полупроводниковые чувствительные элементы датчиков давления на основе наноструктурированного поликристаллического кремния
В новых разработках интегральных чувствительных элементов (ЧЭ) датчиков физических величин в целях обеспечения улучшенных эксплуатационных и метрологических характеристик применяются структуры «кремний-на-диэлектрике» (КНД): в данном случае тензорезистивная мостовая измерительная схема, а также другие элементы, входящие в состав ЧЭ датчиков, (терморезистор(ы), транзистор(ы) и др.) изолированы о...