Подписка на новости

Опрос

Нужны ли комментарии к статьям? Комментировали бы вы?

Реклама

 

Все статьи автора

Микроэлектронные датчики физических величин на основе МЭМС-технологий, (Компоненты и технологии №1'2010)

В статье приводятся примеры реализации разработанных в ОАО «НИИФИ» конструктивно-технологических решений (КтР) объемных кремниевых микроэлектромеханических структур (МЭМС). МЭМС необходимы при создании широкой номенклатуры микроэлектронных датчиков физических величин для ракетно-космической техники и общепромышленного применения.