2013
№6
Совершенствование технологии мембранных МЭМС
MЭМС-технология в настоящее время является самой передовой и перспективной в области микроэлектроники. Совмещая в себе элементы полупроводниковой микроэлектроники и микромеханические элементы, МЭМС делает возможным создание полной системы на чипе. МЭМС объединяет широкий класс мембранных устройств, для которых усовершенствованы базовые технологические процессы изготовления и предложен способ формирования компенсирующего слоя.
Статьи последних номеров доступны только в печатном варианте. Вы можете приобрести свежие номера журнала «Компоненты и технологии» в свободной продаже или заказать в редакции. Извините за доставленные неудобства.
Другие статьи по данной теме:
- Конденсаторы Electronicon для силовой электроники
- CLM9000 PLUS – новое поколение SMT автоматов семейства ESSEMTEC
- Что такое «не везет» и как с ним бороться, или Как обеспечить надежность радиоэлектронных средств при разработке. Часть 2
- Практические способы устранения неустойчивости ОУ из-за емкостной нагрузки
- Новые возможности анализа вольтамперных характеристик полупроводниковых приборов
- «Универсал Прибор» повышает качество российских комплектующих
- Применение оптотиристоров в преобразовательных устройствах с фазовым регулированием
- Малопотребляющие LDO-регуляторы On Semiconductor