2013
№6
Совершенствование технологии мембранных МЭМС
MЭМС-технология в настоящее время является самой передовой и перспективной в области микроэлектроники. Совмещая в себе элементы полупроводниковой микроэлектроники и микромеханические элементы, МЭМС делает возможным создание полной системы на чипе. МЭМС объединяет широкий класс мембранных устройств, для которых усовершенствованы базовые технологические процессы изготовления и предложен способ формирования компенсирующего слоя.
Статьи последних номеров доступны только в печатном варианте. Вы можете приобрести свежие номера журнала «Компоненты и технологии» в свободной продаже или заказать в редакции. Извините за доставленные неудобства.
Другие статьи по данной теме:
- TIRIS — система идентификации и регистрации объектов
- Выставка Aerospace Testing Russia
- «Кузница кадров» электронной промышленности в Дагестанском ГТУ
- Цифровые датчики температуры от Dallas Semicoductor. Часть 1
- Гальваническая оптронная развязка в цепи обратной связи импульсных стабилизированных ИП на примере продукции National Semiconductor
- Обновленные технические характеристики и спецификации одномодового оптоволокна стандарта G.652.D
- Рынок электронных компонентов
- Aerospace Testing Russia 2011