2013
№6
Совершенствование технологии мембранных МЭМС
MЭМС-технология в настоящее время является самой передовой и перспективной в области микроэлектроники. Совмещая в себе элементы полупроводниковой микроэлектроники и микромеханические элементы, МЭМС делает возможным создание полной системы на чипе. МЭМС объединяет широкий класс мембранных устройств, для которых усовершенствованы базовые технологические процессы изготовления и предложен способ формирования компенсирующего слоя.
Статьи последних номеров доступны только в печатном варианте. Вы можете приобрести свежие номера журнала «Компоненты и технологии» в свободной продаже или заказать в редакции. Извините за доставленные неудобства.
Другие статьи по данной теме:
- Стек протоколов MiWi для беспроводных сетей
- Использование проектных ограничений формата xdc в САПР Vivado для работы с ПЛИС Xilinx
- Двухкиловаттный AC/DC-модуль на основе преобразователя с фазовой модуляцией
- «Умная теплица» на базе ISaGRAF введена в эксплуатацию НПО «АвтоматикА»
- Регистрация редких аномалий в высокочастотном сигнале с использованием режима синхронизации TriggerScan в осциллографах LeCroy
- Atmel: новые 8‑разрядные AVR-микроконтроллеры
- Особенности проектирования широкополосных синтезаторов частот на основе ФАПЧ с интегрированным ГУН
- Микросхемы приемопередатчиков для основных типов мультиплексных каналов информационного обмена