2013
№6
Совершенствование технологии мембранных МЭМС
MЭМС-технология в настоящее время является самой передовой и перспективной в области микроэлектроники. Совмещая в себе элементы полупроводниковой микроэлектроники и микромеханические элементы, МЭМС делает возможным создание полной системы на чипе. МЭМС объединяет широкий класс мембранных устройств, для которых усовершенствованы базовые технологические процессы изготовления и предложен способ формирования компенсирующего слоя.
Статьи последних номеров доступны только в печатном варианте. Вы можете приобрести свежие номера журнала «Компоненты и технологии» в свободной продаже или заказать в редакции. Извините за доставленные неудобства.
Другие статьи по данной теме:
- Учет скин-эффекта в задачах о потоках самоиндукции и взаимоиндукции, наводимых током, протекающим в проводнике с прямоугольным поперечным сечением
- Проблемы проектирования и надежности высокотемпературной электроники
- Соединители CIN::APSE: решение проблемы миниатюризации соединений
- XVI Международный форум «Технологии безопасности»
- Новый микроконтроллер AT91SAM9M10 с ядром ARM926 и встроенным мультиформатным декодером видео
- Микроконтроллеры Cyan Technology: развитая периферия плюс быстродействие и экономичность
- Три новых высоковольтных модуля питания семейства Simple Switcher
- Микроконтроллеры фирмы Mitsubishi