2013
№6
Совершенствование технологии мембранных МЭМС
MЭМС-технология в настоящее время является самой передовой и перспективной в области микроэлектроники. Совмещая в себе элементы полупроводниковой микроэлектроники и микромеханические элементы, МЭМС делает возможным создание полной системы на чипе. МЭМС объединяет широкий класс мембранных устройств, для которых усовершенствованы базовые технологические процессы изготовления и предложен способ формирования компенсирующего слоя.
Статьи последних номеров доступны только в печатном варианте. Вы можете приобрести свежие номера журнала «Компоненты и технологии» в свободной продаже или заказать в редакции. Извините за доставленные неудобства.
Другие статьи по данной теме:
- Аналоговые схемы серии 1446
- Проектирование с использованием процессоров Analog Devices. Работа с внешней памятью
- Клуб Экспертов по ПЛИС
- Модульные источники питания GAIA Converter — сочетание максимальной надежности и широких функциональных возможностей
- Автоматическое тестовое рентгеноскопическое оборудование в производстве электронных изделий
- Проектирование в условиях временных ограничений: отладка проектов (часть 1)
- Совместимость как идеология компании. Cinterion BGS2 r. 2 — AGS2 — EHS5
- Датчики Холла компании Micronas: новые технологии и компоненты