2013
№6
Совершенствование технологии мембранных МЭМС
MЭМС-технология в настоящее время является самой передовой и перспективной в области микроэлектроники. Совмещая в себе элементы полупроводниковой микроэлектроники и микромеханические элементы, МЭМС делает возможным создание полной системы на чипе. МЭМС объединяет широкий класс мембранных устройств, для которых усовершенствованы базовые технологические процессы изготовления и предложен способ формирования компенсирующего слоя.
Статьи последних номеров доступны только в печатном варианте. Вы можете приобрести свежие номера журнала «Компоненты и технологии» в свободной продаже или заказать в редакции. Извините за доставленные неудобства.
Другие статьи по данной теме:
- Оптоэлектроника и светотехника
- Автомобильные датчики положения. Современные технологии и новые перспективы. Часть 14. Итоговый сравнительный анализ. Выводы и обновление
- Микросхемы привода бесконтактных двигателей постоянного тока NJR, SITI, ONS
- Осциллографические тестеры Fluke ScopeMeter серии 190
- Самый производительный микроконтроллер на ядре Cortex-M4
- Семинары «Технологии современного бизнеса за пределами опубликованных данных»
- Многообразие микросистемных инноваций: новые технологии и игроки. Часть 1
- Новые изделия ОАО «ИНТЕГРАЛ» специального назначения и двойного применения: 1669РА035, 1669РА025, 1669РА015, 5560ИН5У, 5560ИН6У