2013
№6
Совершенствование технологии мембранных МЭМС
MЭМС-технология в настоящее время является самой передовой и перспективной в области микроэлектроники. Совмещая в себе элементы полупроводниковой микроэлектроники и микромеханические элементы, МЭМС делает возможным создание полной системы на чипе. МЭМС объединяет широкий класс мембранных устройств, для которых усовершенствованы базовые технологические процессы изготовления и предложен способ формирования компенсирующего слоя.
Статьи последних номеров доступны только в печатном варианте. Вы можете приобрести свежие номера журнала «Компоненты и технологии» в свободной продаже или заказать в редакции. Извините за доставленные неудобства.
Другие статьи по данной теме:
- ProSoft Components и «Эремекс» представят новые разработки на выставке «Радиоэлектроника и приборостроение 2011» в Санкт-Петербурге
- Дисплеи
- Технический семинар «Промышленные указательные устройства NSI»
- Основной смысл работы «ЭлТех СПб» — это подбор и трансфер современных технологий
- «Горячие темы» EDA-индустрии по материалам новостей портала DACafe.com
- Видеодатчик iVu Plus TG компании Banner Engineering
- Керамические конденсаторы: выход из танталового кризиса
- Показатели качества сигналов со сложной модуляцией — задачи стандартизации