Филиал «Камертон» холдинга «ИНТЕГРАЛ»
Пластины монокристаллического кремния

№ 12’2015
PDF версия
Пластины монокристаллического кремния изготавливают по ТУ РБ 200181967.026-2002, ТУ РБ 200181967.151-2010 или согласованным с заказчиком спецификациям из слитков монокристаллического кремния по ТУ 48-4-295, ГОСТ 19658 или согласованным с заказчиком спецификациям конкретной марки и группы. Пластины монокристаллического кремния могут использоваться в качестве рабочих и тестовых, или контрольных.

Пластины монокристаллического кремния (пластины монокристаллического кремния имеют закругленный край (фаску), ориентированную базовую метку (лунку или срез), маркировку в виде лазерных маркировочных надписей или дополнительного (маркировочного) среза. Рабочая сторона пластин монокристаллического кремния полирована суспензиями диоксида кремния.) изготавливают по ТУ РБ 200181967.026-2002 (распространяются на рабочие и контрольные пластины монокристаллического кремния диаметром 76, 100, 150 мм), ТУ РБ 200181967.151-2010 (распространяются на пластины диаметром 100, 150, 200 мм для изделий с проектными нормами 1,2; 0,8; 0,5; 0,35 мкм) или согласованным с заказчиком спецификациям из слитков монокристаллического кремния по ТУ 48-4-295, ГОСТ 19658 или согласованным с заказчиком спецификациям конкретной марки и группы (по согласованию изготовителя и заказчика отдельные параметры пластин монокристаллического кремния, методы контроля, не ухудшающие качества изделия, могут быть изменены, что находит отражение в договоре или протоколе на поставку).

Таблица 1. Краткие характеристики слитков кремния монокристаллического

Легирующие элементы

Фосфор, бор, мышьяк, сурьма

Тип проводимости

п, р

Ориентация слитков

(111), (100), (110)

Удельное сопротивление, Ом·см

0,003–80

Радиальный градиент удельного электрического сопротивления, %

Определяются ТУ 48-4-295, ГОСТ 19658 или согласованными с заказчиком спецификациями

Концентрация атомов междоузельного кислорода, см–3

Радиальный градиент концентрации атомов междоузельного кислорода, %

Концентрация атомов замещения углерода, см–3

Таблица 2. Основные технические характеристики

Технические условия на пластины монокристаллического кремния, спецификации

Рабочие пластины

Контрольные пластины

ТУ РБ 200181967.026-2002

ТУ BY 100386629.151-2010

ТУ РБ 200181967.026-2002

ТУ BY 100386629.151-2010

СП1

СП2

СП3

СП4

СП6

СП7

СТ1

СТ2

СТ3

СТ4

СТ5

СП10

СП10R

СТ10Т

СТ10М

СТ10R

Диаметр, мм

76

100

150

100

150

200

76

100

150

100

150

200

Ориентация поверхности пластины, предельное отклонение, град.

0 ±0,5; 4 ±0,5

0 ±0,5

0 ±2, 4 ±2

 

 

Толщина, мкм

380 ±20

460 ±20

 

460 ±20

 

725 ±20

340 380

440; 460;
500; 525

655; 675; 695

 

725

600; 660; 690

Клин (TTV), мкм, не более

20

15

 

7

 

5

3

40

50

 

10

25

Предельное отклонение
толщины, мкм

 

±30

±40

±50

 

±30

Общее отклонение от плоскостности (TIR), мкм, не более

9

 

 

 

 

 

Отклонение от плоскостности на локальном участке, мкм, не более

 

STIR —

3,8

 

STIR —
3,8

 

SFQR —
0,5

SFQR  — 0,35

 

 

SFQR —
0,5

 

Прогиб, мкм, не более

30

40

 

40

 

40

50

60

100

 

50

100

65

Характер поверхности нерабочей стороны

шлифовано-травленая
или полированная алмазными пастами

шлифовано-травленая

шлифовано-травленая полированная резано-травленая

шлифовано-травленая

Примечание. Пример записи при заказе, термины и определения, методы контроля приведены в соответствующих технических условиях.

Пластины монокристаллического кремния могут использоваться в качестве рабочих и тестовых, или контрольных. Тестовые образцы изготавливаются из монокристаллического кремния или путем рес-таврации некондиционных пластин кристального производства.

Филиал «Камертон»
Ул. Брестская, д. 137, г. Пинск, Бестская обл., 225710, Республика Белорусь
Тел.: приемная (+375 165) 34-32-94,
бюро маркетинга и сбыта (+375 165) 34-98-33,
Факс (+375 165) 34-60-61
E-mail: kamerton_sby@tut.by, Kamerton-40@mail.ru

Добавить комментарий

Ваш адрес email не будет опубликован. Обязательные поля помечены *