Программная платформа Keysight для автоматизированного измерения параметров полупроводниковых пластин

Компания Keysight Technologies объявила о выпуске WaferPro Express 2015 — программной платформы для автоматизированного измерения параметров полупроводниковых приборов на уровне пластин. Эффективно управляя всеми компонентами измерительной системы (измерительными приборами и пробниками), WaferPro Express уменьшает сложность схемы тестирования и предлагает единую платформу для эффективных автоматизированных измерений и обработки данных.

Главной революционной особенностью ПО WaferPro Express 2015 является его тесная интеграция с ПО управления зондовой станцией Velox 2.0 компании Cascade Microtech. WaferPro Express и Velox 2.0 объединяются через Cascade Microtech WaferSync — совместно разработанный двунаправленный канал связи, который позволяет полностью синхронизировать карту полупроводниковой пластины и обеспечивает безошибочный обмен информацией между компонентами программы, включая информацию о выравнивании пластины, участках и кристаллах.

В сочетании с другими усовершенствованиями новый канал связи между WaferPro Express и Velox 2.0 позволяет инженерам быстро настраивать измерительные системы. Для дальнейшего повышения эффективности измерений на высоких частотах WaferPro Express периодически контролирует стабильность ВЧ-калибровки, что минимизирует время, затрачиваемое на сбор данных о погрешностях.

Типовое измерительное решение уровня полупроводниковых пластин (WMS) для измерений на высоких частотах и на постоянном токе включает анализатор цепей Keysight PNA или PNA-X и анализатор параметров полупроводниковых устройств B1500A, объединенный с зондовой станцией компании Cascade Microtech, ПО калибровки WinCal XE и подложками с эталонным импедансом для калибровки. Конфигурации WMS заранее проверены и оптимизированы для точного и воспроизводимого измерения устройств и компонентов. Проверка вновь устанавливаемых систем выполняется с помощью новой испытательной подложки Keysight (KVS). Для каждой KVS в заводских условиях полностью измеряются все параметры, а в комплект их поставки входят стандар-тные устройства, которые можно зондировать с помощью пробников G-S-G после ВЧ калибровки. WaferPro Express 2015 измеряет KVS во время начальной проверки системы, а после сравнения измеренных и заводских данных происходит подтверждение ее корректной работы.

Другие новые возможности WaferPro Express 2015 включают поддержку измерений коэффициента шума и возможность импорта испытательных процедур, разработанных в ПО моделирования и измерений Keysight IC-CAP. Новая функция измерения коэффициента шума дополняет имеющиеся функции измерения компрессии усиления, двухтонального измерения интермодуляционных искажений и измерения S-параметров, поддерживаемые в настоящее время последним инструментальным драйвером Keysight PNA-X.

ПО WaferPro Express снижает сложность измерений, предлагая серийно выпускаемую платформу, которая управляет планом тестирования и позволяет просто сохранять, отображать и контролировать данные. Имеются десятки готовых драйверов, которые позволяют быстро выполнять стандартные измерения. Дальнейший уровень адаптации предлагается средой программирования Python. Обычно сценарии Python используются для анализа результатов измерения, расчета и сохранения основных показателей, настройки мониторинга данных и замены или дополнения встроенных драйверов специальными алгоритмами.