Подписка на новости

Опрос

Нужны ли комментарии к статьям? Комментировали бы вы?

Реклама

 

2011 №10

История развития и обзор современной продукции компании Hamamatsu. Особенности и параметры ПЗС- и InGaAs-датчиков изображения

Петропавловский Юрий


Статья представляет собой обзор продукции японской компании Hamamatsu Photonics K. K., в частности ПЗС- и InGaAs-сенсоров из категории оптоэлектронных приборов.

Введение

Компания Hamamatsu Photonics K.K. основана в 1953 году, ее штаб-квартира находится в г. Хамамацу, в префектуре Сидзуока (рис. 1). Основателем фирмы был Хейхачиро Хориучи (Heihachiro Horiuchi) — ученик профессора Кениро Такаянаги (Kenjiro Takayanagi, 1899–1990 гг., рис. 2). Такаянаги мало знают на Западе, однако он создал первый в мире полностью электронный телевизор. 25 декабря 1926 года Такаянаги успешно продемонстрировал телевизор на электронно-лучевой трубке в средней промышленной школе г. Хамамацу (в настоящее время инженерный факультет университета Сидзуока), в которой он тогда преподавал. На рис. 3 показан первый телевизор Такаянаги в музее вещания компании NHK в Токио. Кениро Такаянаги называют отцом японского телевидения: он сыграл ключевую роль в развитии телевидения в компании NHK, затем в JVC, вице-президентом которой он стал впоследствии [1].

 Штаб-квартира Hamamatsu Photonics

Рис. 1. Штаб-квартира Hamamatsu Photonics


 Профессор Кениро Такаянаги

Рис. 2. Профессор Кениро Такаянаги


 Первый электронный телевизор Такаянаги

Рис. 3. Первый электронный телевизор Такаянаги

Изначально компания называлась Hamamatsu TV Co., Ltd и производила фотоэлектронные трубки, а также занималась разработкой гамма-сцинтилляторов по заданию Агентства наук и технологий по мирному использованию атомной энергии. Уже через два года после основания компания получила государственное финансирование для проведения значимого проекта в области атомной энергетики. В 1957 году началось производство трубок для приборов ночного видения, а в 1961–1963 гг. — производство инфракрасных видеокамер и серебряно-висмутовых фотоумножителей. В 1969 году в США создана Hamamatsu Corporation USA, действующая (до настоящего времени) как аффилированная компания. Она участвовала в освоении космического пространства (зонд для отслеживания кометы Галлея). В 1970-е годы началось сотрудничество с западногерманской фирмой Heiaman и концерном Philips, в эти годы созданы трубка для наблюдения фемтосекундных процессов, видиконы для компьютеров, GaAsP и Si PIN фотодиоды, ультрафиолетовая видеокамера (“Kyokkou”). В 1980–2000 гг. объем исследований и производства резко нарастает, и фирма получает широкое международное признание.

По состоянию на январь 2011 г. в компании работали 2834 сотрудника. Объем продаж составил 79 235 млн йен. Фирма располагает шестью заводами и тремя научно-исследовательскими лабораториями, а также пятью дочерними компаниями и организациями. Президент и главный исполнительный директор Hamamatsu Photonics K.K. — Акира Хирума (Akira Hiruma) [12].

В 2011 году Hamamatsu Photonics выпускает продукцию следующих категорий:

  • оптоэлектронные полупроводниковые приборы (15 видов продукции);
  • светочувствительные электронные трубки (9 видов);
  • светодиоды, лазерные диоды, источники света (14 видов);
  • видеокамеры и измерители параметров изображения (10 видов);
  • оборудование для медицины (8 видов);
  • полупроводниковые анализаторы: микроскопы, плазменные мониторы и др. (8 видов);
  • оптические измерительные системы (12 видов);
  • рентгеновское оборудование (12 видов);
  • другие продукты и сервисы (3 вида).

В состав каждого вида продукции, в свою очередь, входят несколько подвидов продукции. Например, к категории оптоэлектронных приборов относятся:

  • кремниевые фотодиоды (11 линеек приборов);
  • лавинные диоды (3 линейки);
  • мультипиксельные счетчики фотонов (2 линейки);
  • датчики изображения (7 линеек);
  • фотомикросхемы (10 линеек);
  • датчики видимого света и освещенности (5 линеек);
  • датчики цвета и модули для ЖК-мониторов (2 линейки);
  • детекторы положения (4 линейки);
  • детекторы инфракрасного излучения (8 линеек);
  • светодиоды (6 линеек);
  • плоскопанельные сенсоры рентгеновского излучения (3 линейки);
  • мини-спектрометры (6 линеек);
  • приборы для оптокоммуникаций
    (4 линейки);
  • приборы для автомобилей (8 линеек);
  • модули для различных приложений (9 линеек).

В других категориях продукции в состав каждого вида также входят несколько линеек, поэтому даже краткое описание столь широкой номенклатуры изделий, выпускаемой фирмой, займет несколько журнальных статей. В предлагаемой статье рассмотрены особенности и приведены параметры ПЗС- и InGaAs-сенсоров из категории оптоэлектронных приборов Hamamatsu Photonics. О других категориях продукции Hamamatsu Photonics мы расскажем в последующих публикациях.

Датчики изображения

Датчики изображения Hamamatsu нашли широкое применение в различных областях науки и промышленности. Компания выпускает датчики изображения следующих типов:

  • ПЗС-сенсоры. Приборы имеют очень низкий уровень шума, что позволяет получать сигналы с высоким отношением сигнал/шум.
  • МОП-сенсоры. Приборы характеризуются высокой чувствительностью в ультрафиолетовой области и высокой линейностью, что необходимо для спектрофотометрии. МОП-сенсоры широко используются в промышленных приложениях невысокой стоимости, отличаются низким энергопотреблением и малыми размерами.
  • InGaAs-сенсоры. Приборы используются для научных измерений, в промышленности, в системах со спектральным уплотнением DWDM (Dense Wavelength Division Multiplexing), работающих в ближней инфракрасной области (до 2,6 мкм).
  • ПЗС-сенсоры типа Back-thinned TDI (Time Delay Integration). Приборы, освещаемые с обратной стороны подложки с временной задержкой и уплотнением. Эти сенсоры обеспечивают четкие и яркие изображения даже при низкой освещенности и высокоскоростной съемке.
  • Рентгеновские датчики изображения. Приборы построены на основе ПЗС-сенсоров или массивов фотодиодов.
  • Фотодиодные массивы с усилителями.
  • Схемы и узлы для датчиков изображения.

По рекомендациям фирмы ее датчики изображения и камеры на их основе могут быть использованы в следующих приложениях (краткое изложение):

  • Науки о жизни — наблюдение флуоресценции, люминесценции в клетках организмов, внешнего вида генов, белковых взаимодействий, скрининг лекарств и патологий.
  • Анализ отказов полупроводниковых приборов и микросхем, инспекция печатных плат, измерение квантового выхода органических светодиодных материалов.
  • Высокоточное бесконтактное измерение толщины образцов от 20 нм до 50 мкм.
  • Измерения оптических характеристик светодиодов, лазеров и других источников света (распределение яркости, астигматизм).
  • Автомобильные приложения — датчики, используемые в системах, контролирующих расстояние между транспортными средствами.
  • Высокоскоростные камеры для наблюдения плазменных процессов.
  • Медицина — мониторинг кислорода в мозге, сканирование патологий с созданием слайдов.
  • Многоканальный мониторинг плазменных выбросов при травлении и напылении при производстве полупроводников.
  • Оптическая связь — измерение параметров лазерного луча, инспекция оптического волокна, фильтров и муфт.
  • Спектроскопия — наблюдение и измерения параметров высокоскоростных оптических явлений (комбинационное рассеяние света, электрические разряды и др.).
  • Рентген — панели для рентгенографии, неразрушающий контроль, осмотр трещин и др.
  • Наблюдение за процессами сварки, обработки и склеивания материалов.

ПЗС-сенсоры

В номенклатуру ПЗС-сенсоров, предлагаемых компанией в 2011 году, входят 20 типов сенсоров с фронтальным освещением и 46 типов сенсоров, освещаемых с обратной стороны подложки [3]. Классификационные параметры ПЗС-сенсоров приведены в таблице (за исключением некоторых позиций).

Таблица. Параметры ПЗС-сенсоров компании Hamamatsu

Тип прибора Число активных пикселей Размер пикселя, мкм Размер активной зоны, мм Охлаждение Корпус
ПЗС с фронтальным освещением
S9736-01 512×512 24×24 12,288×12,288 Нет DIP24
S9736-02 512×512 24×24 12,288×12,288 4 ТЭ-элемента DIP28 металл
S9736-03 512×512 24×24 12,288×12,288 Нет Плоский
S9737-01 1024×1024 12×12 12,288×12,288 Нет DIP24
S9737-02 1024×1024 12×12 12,288×12,288 4 ТЭ-элемента DIP28 металл
S9737-03 1024×1024 12×12 12,288×12,288 Нет Плоский
S9970-0906 532×64 24×24 12,288×1,44 Нет DIP24
S9970-1006 1044×64 24×24 24,576×1,44 Нет DIP24
S9970-1007 1044×128 24×24 24,576×2,976 Нет DIP24
S9970-1008 1044×256 24×24 24,576×6,048 Нет DIP24
S9971-0906 532×64 24×24 12,288×1,44 1 ТЭ-элемент DIP24
S9971-1006 1044×64 24×24 24,576×1,44 1 ТЭ-элемент DIP24
S9971-1007 1044×128 24×24 24,576×2,976 1 ТЭ-элемент DIP24
S9971-1008 1044×256 24×24 24,576×6,048 1 ТЭ-элемент DIP24
S9972-1007 1044×128 24×24 24,576×2,976 Нет DIP24 керамика
S9972-1008 1044×256 24×24 24,576×6,048 Нет DIP24 керамика
S9972-1007 1044×128 24×24 24,576×2,976 1 ТЭ-элемент DIP24 керамика
S9972-1008 1044×256 24×24 24,576×6,048 1 ТЭ-элемент DIP24 керамика
S9978 512×512 24×24 12,288×12,288 Нет DIP24 керамика
S9979 1536×128 48×48 73,728×6,144 Нет DIP28 керамика
ПЗС Back-thinned FFT
S7030-0906 512×58 24×24 12,288×1,392 Нет DIP24 керамика
S7030-0907 512×122 24×24 12,288×2,928 Нет DIP24 керамика
S7030-1006 1024×58 24×24 24,576×1,392 Нет DIP24 керамика
S7030-1007 1024×122 24×24 24,576×2,928 Нет DIP24 керамика
S7031-0906S 512×58 24×24 12,288×1,392 1 ТЭ-элемент DIP24 керамика
S7031-0907S 512×122 24×24 12,288×2,928 1 ТЭ-элемент DIP24 керамика
S7031-1006S 1024×58 24×24 24,576×1,392 1 ТЭ-элемент DIP24 керамика
S7031-1007S 1024×122 24×24 24,576×2,928 1 ТЭ-элемент DIP24 керамика
S7033-0907 512×122 24×24 12,288×2,928 Нет DIP24 керамика
S7033-1007 1024×122 24×24 24,576×2,928 Нет DIP24 керамика
S7034-0907S 512×122 24×24 12,288×2,928 1 ТЭ-элемент DIP24 керамика
S7034-1007S 1024×122 24×24 24,576×2,928 1 ТЭ-элемент DIP24 керамика
S7170-0909 512×512 24×24 12,288×12,288 Нет DIP24 керамика
S7170-0900-01 512×512 24×24 12,288×12,288 1 ТЭ-элемент DIP24 керамика
S7986-01 658×490 14×14 9,212×6,86 Нет DIP24 керамика
S7987-01 658×490 14×14 9,212×6,86 1 ТЭ-элемент DIP24 керамика
S9037-0902 512×4 24×24 12,288×0,096 Нет DIP24 керамика
S9037-1002 1024×4 24×24 24,576×0,096 Нет DIP24 керамика
S9038-0902S 512×4 24×24 12,288×0,096 1 ТЭ-элемент DIP24 керамика
S9038-1002S 1024×4 24×24 24,576×0,096 1 ТЭ-элемент DIP24 керамика
S10140-1007 1024×122 12×12 12,288×1,464 Нет DIP24 керамика
S10140-1008 1024×250 12×12 12,288×3 Нет DIP24 керамика
S10140-1009 1024×506 12×12 12,288×6,072 Нет DIP24 керамика
S10140-1107 2048×122 12×12 24,576×1,464 Нет DIP24 керамика
S10140-1109 2048×250 12×12 24,576×3 Нет DIP24 керамика
S10141-1007S 1024×122 12×12 12,288×1,464 1 ТЭ-элемент DIP24 керамика
S10141-1008S 1024×250 12×12 12,288×3 1 ТЭ-элемент DIP24 керамика
S10141-1009S 1024×506 12×12 12,288×6,072 1 ТЭ-элемент DIP24 керамика
S10141-1107S 2048×122 12×12 24,576×1,464 1 ТЭ элемент DIP24 керамика
S10141-1108S 2048×250 12×12 24,576×3 1 ТЭ-элемент DIP24 керамика
S10141-1109S 2048×506 12×12 24,576×6,072 1 ТЭ-элемент DIP24 керамика
S10747-0909 512×512 24×24 12,288×12,288 Нет DIP24 керамика
S11071-1004 1024×16 14×14 14,336×0,224 Нет DIP24 керамика
S11071-1006 1024×64 14×14 14,336×0,896 Нет DIP24 керамика
S11071-1104 2048×16 14×14 28,672×0,224 Нет DIP24 керамика
S11071-1106 2048×16 14×14 28,672×0896 Нет DIP24 керамика
S1115-2048 NEW 2048×1 14×500 28,672×0,5 Нет DIP24 керамика
S1116-2048 NEW 2048×1 14×1000 28,672×1 Нет DIP24 керамика
S11500-1007 1024×122 24×24 24,576×2,928 Нет DIP24 керамика
S11510-1006 1024×64 14×14 14,336×0,896 Нет DIP24 керамика
S11510-1106 2048×64 14×14 28,672×0,896 Нет DIP24 керамика

Примечание. Здесь и далее ТЭ-элемент — термоэлектрический элемент.

Рассмотрим особенности и основные параметры некоторых серий ПЗС-сенсоров Hama-matsu, работающих при температуре 25 °C.

Серия S9736. Приборы выполнены на однотипном сенсоре с полнокадровым переносом заряда в различных конструктивных исполнениях. Их внешний вид показан на рис. 4.

 Внешний вид приборов серий S9736, S9737

Рис. 4. Внешний вид приборов серий S9736, S9737

Сенсоры разработаны для научных приложений при работе в условиях низкой освещенности. Приборы отличаются низким уровнем шума и малым темновым током в режиме МРР (Multi pinned phase), при этом режиме можно обнаружить объекты с очень низкой освещенностью и большим временем интегрирования. Исполнение S9736-02 за счет термоэлектрического охлаждения может снизить температуру сенсора до –70 °C при комнатной температуре. Основные области применения сенсоров: астрономия, научные измерения, флуоресцентные спектрометры, раман-спектрометры, оптические и спектрофотометрические анализаторы, приборы для работы в условиях низкой освещенности.

Основные типовые параметры сенсоров S9736:

  • Чувствительность — 3,5 мкВ/e.
  • Темновой ток (е/пиксель/с). При снижении температуры чувствительность сенсоров существенно возрастает, например при –70 °C она составляет 0,001 мкВ/е.
  • Спектральный диапазон — 400–1100 нм. Соответствующая спектральная характеристика приведена на рис. 5.
 Спектральная характеристика сенсоров S9736, S9737

Рис. 5. Спектральная характеристика сенсоров S9736, S9737

Следует отметить, что разные производители датчиков изображения используют различные единицы измерений отдельных параметров выпускаемых приборов. В статье использованы единицы измерения, используемые компанией Hamamatsu в технической документации. Их определения приведены в информационных материалах фирмы [4].

Серия S9737. Эти приборы также выполнены на однотипном сенсоре с полнокадровым переносом заряда, в таких же конструктивных исполнениях, как и приборы серии S9736 (рис. 4). Они предназначены для использования в тех же областях применения.

Отличающиеся параметры сенсоров S9737:

  • чувствительность ПЗС — 4,5 мкВ/е;
  • темновой ток — 100 е/пиксель;
  • динамический диапазон — 15 000.

Серии S7030, S7031, S7033 и S7034. Приборы этих серий выполнены на сенсорах с полнокадровым переносом заряда, освещаемых с обратной стороны подложки. Внешний вид приборов показан на рис. 6. ПЗС-сенсоры типа Back-thinned FFT более эффективны, чем сопоставимые сенсоры с фронтальным освещением, их квантовая эффективность достигает 90% на пике спектральной чувствительности. Приборы этих серий отличаются высокой чувствительностью в ультрафиолетовой области спектра. Спектральная характеристика сенсоров и сопоставимая характеристика сенсоров с фронтальным освещением приведены на рис. 7.

 Внешний вид приборов серий S7030-S7034

Рис. 6. Внешний вид приборов серий S7030–S7034


 Спектральная характеристика сенсоров S7030-S7034

Рис. 7. Спектральная характеристика сенсоров S7030–S7034

Основные области применения приборов этих серий: флуоресцентные спектрометры, масс-спектрометры с индуктивно-связанной плазмой, промышленная инспекция продукции, инспекция полупроводниковых приборов, анализаторы ДНК, раман-спектрометры, приборы для обнаружения слабых источников света.

Основные параметры сенсоров серий S7030, S7031 (в скобках — отличающиеся параметры серий S7033, S7034):

  • чувствительность — 2,2 (0,6) мкВ/е;
  • темновой ток — 100 е/пиксель/с;
  • шум считывания — 8 (30) е rms;
  • динамический диапазон:
    – 125 000 (113 300) — сканирование строк;
    – 40 000 (10 700) — сканирование всей площади сенсора.

Темновой ток сенсоров практически линейно зависит от температуры. Соответствующая характеристика приведена на рис. 8. Для обеспечения малых значений темнового тока предпочтительнее использовать приборы серии S7031.

 Зависимость темнового тока сенсоров S7030-S7034 от температуры

Рис. 8. Зависимость темнового тока сенсоров S7030–S7034 от температуры

Серии S9037, S9038. Приборы этих серий выполнены на сенсорах Back-thinned FFT и предназначены для высокоскоростной съемки. Их внешний вид показан на рис. 9. Основные области применения приборов этих серий: мониторы эксимерных лазеров (широко применяются в глазной хирургии и полупроводниковой промышленности) и высокоскоростные видеокамеры с линейным сканированием. Квантовая эффективность сенсоров достигает 90% и более.

 Внешний вид приборов серий S9037 и S9038

Рис. 9. Внешний вид приборов серий S9037 и S9038

Основные параметры приборов серий S9037 и S9038:

  • скорость потока данных — 10 МГц;
  • чувствительность — 1,2 мкВ/е;
  • темновой ток — 100 е/пиксель/с;
  • шум считывания — 100 е rms;
  • динамический диапазон — 6000;
  • спектральный диапазон — 200–1100 нм.

Серии S10140, S10141. Приборы высокого разрешения этих серий выполнены на сенсорах Back-thinned FFT, отличаются низким шумом считывания и высокой квантовой эффективностью. Внешний вид приборов приведен на рис. 6. Области применения приборов такие же, как и сенсоров серий S7030, S7031, S7033, S7034.

Основные параметры приборов серий S10140 и S10141:

  • чувствительность — 5 мкВ/е;
  • темновой ток — 100 е/пиксель/с;
  • шум считывания — 4 е rms;
  • динамический диапазон:
    – 37 500 — сканирование строк,
    – 18 500 — сканирование всей площади сенсора;
  • спектральный диапазон — 200–1100 нм;
  • разность реакций пикселей PRNU (Photo response non-uniformity) — ±3%.

S10747-0909 (рис. 10) — сенсор с высокой чувствительностью в ближней инфракрасной области спектра. Этот прибор применяют в телескопах для наблюдения за космосом.

Внешний вид прибора S10747-0909

Рис. 10. Внешний вид прибора S10747-0909

Основные параметры S10747-0909:

  • чувствительность — 1,7 мкВ/е;
  • шум считывания — 30 е rms;
  • динамический диапазон:
    – 26 667 — сканирование строк;
    – 6666 — сканирование всей площади сенсора;
  • PRNU — ±3%;
  • спектральный диапазон — 300–1100 нм.

Спектральная характеристика прибора и сопоставимая характеристика сенсоров Back-thinned приведены на рис. 11.

Спектральная характеристика сенсора S10747-0909

Рис. 11. Спектральная характеристика сенсора S10747-0909

Одна из последних разработок фирмы — линейные ПЗС-сенсоры типа Back-thinned с электронными затворами S11155-2048 и S11156-2048 (рис. 12). В приборах использована структура с резистивным затвором (Resistive gate structure), обеспечивающая высокоскоростное преобразование и малое запаздывание изображения. Особенности устройства и функционирования ПЗС-сенсоров с резистивными затворами приведены в технической документации фирмы [5]. Области применения сенсоров — спектрометры различных типов и линейные сканеры изображений.

Внешний вид сенсоров S11155 и S11156

Рис. 12. Внешний вид сенсоров S11155 и S11156

Основные параметры приборов S11155-2048 и S11156-2048:

  • чувствительность — 8 мкВ/е;
  • темновой ток — 50/4 кe/пиксель/с (с выключенным и включенным режимом MPP соответственно);
  • шум считывания — 30 е rms;
  • динамический диапазон — 6670;
  • спектральный диапазон — 200–1100 нм, соответствующая характеристика приведена на рис. 13;
  • запаздывание изображения — 0,1%.

Компания выпускает также плату драйвера С11165 (рис. 14) для использования рассматриваемых линейных сенсоров в спектрометрах.

Спектральная характеристика сенсоров S11155/S11156

Рис. 13. Спектральная характеристика сенсоров S11155/S11156


Внешний вид платы С11165

Рис. 14. Внешний вид платы С11165

InGaAs-сенсоры

Сенсоры на основе InGaAs, выпускаемые фирмой, используются для научных исследований и в промышленности в качестве оптических анализаторов спектра и в системах со спектральным уплотнением в ближней инфракрасной области спектра. В каталоге Hamamatsu 2011 года предлагается 18 типов InGaAs-сенсоров. Рассмотрим особенности некоторых из них.

Серии G9201–G9204 — в состав серий входят 6 типов линейных сенсоров (рис. 15):

  • G9201-256S — 256-пиксельный прибор с одним термоэлектрическим элементом охлаждения;
  • G9202-512S — 512-пиксельный прибор с одним ТЭ-элементом охлаждения;
  • G9203-256D — 256-пиксельный прибор без элементов охлаждения;
  • G9203-256S — 256-пиксельный прибор с одним ТЭ-элементом охлаждения;
  • G9204-512D — 512-пиксельный прибор без элементов охлаждения;
  • G9204-512S — 512-пиксельный прибор с одним ТЭ-элементом охлаждения.
Внешний вид приборов серий G9201-G9204

Рис. 15. Внешний вид приборов серий G9201–G9204

Все перечисленные сенсоры работают в диапазоне длин волн 0,9–1,67 мкм (при температуре –10 °C), 0,9–1,7 мкм (при температуре +25 °C), соответствующие спектральные характеристики приборов приведены на рис. 16.

Спектральная характеристика сенсоров G9201-G9204

Рис. 16. Спектральная характеристика сенсоров G9201–G9204

Основные особенности InGaAs-сенсоров:

  • широкий динамический диапазон;
  • низкий уровень шума и малый темновой ток;
  • 2 коммутируемых режима преобразования;
  • встроенная схема антинасыщения;
  • встроенная схема компенсации смещения.

G10768-1024D/DB — неохлаждаемые линейные сенсоры с числом пикселей 1024. Размеры пикселей: 25×100 мкм (исполнение D) и 25×25 мкм (исполнение DB). Внешний вид сенсоров показан на рис. 17. Основные области применения приборов: обнаружение и классификация дефектов объектов, оптическая когерентная томография, спектроскопия в ближней инфракрасной области. Соответствующая спектральная характеристика приведена на рис. 18.

Внешний вид приборов G10768-1024D/DB

Рис. 17. Внешний вид приборов G10768-1024D/DB


Спектральные характеристики сенсоров G10768-1024D/DB

Рис. 18. Спектральные характеристики сенсоров G10768-1024D/DB

Основные особенности приборов G10768-1024D/DB:

  • высокая скорость считывания строк (39 000 линий/с);
  • высокая скорость потока данных (5 МГц, максимум 6,67 МГц);
  • 4 коммутируемых режима преобразования;
  • встроенный тактовый генератор;
  • низкий темновой ток (±1 пА);
  • работа при комнатной температуре.

Заключение

Компания Hamamatsu Photonics выпускает широкую номенклатуру ПЗС-датчиков изображения со средним и высоким разрешением: от 512×58 пикселей (S7030-0906) до 2048×250 пикселей (S10140-1109). Наибольшей чувствительностью — 1,2–1,7 мкВ/е и квантовой эффективностью — до 90% обладают ПЗС-сенсоры, освещаемые с обратной стороны подложки (серии S9037, S9038, S10140 и S10141). ПЗС-сенсоры компании могут быть использованы в различных приборах для научных исследований и промышленности, в высокоскоростных видеокамерах, медицинском оборудовании и других приложениях.

InGaAs-сенсоры Hamamatsu можно применять для приборов, работающих в красной и ближней инфракрасной области спектра (0,9–1,7 мкм). Они предназначены для использования в дефектоскопии, оптических когерентных томографах, спектрометрах, оборудовании для научных исследований и других приложениях.

Литература

  1. http://jp.hamamatsu.com/en/hamamatsu/history/index.html
  2. http://jp.hamamatsu.com/en/hamamatsu/corporate/index.html
  3. http://jp.hamamatsu.com/products/sensor-ssd/pd101/pd102/index_en.html
  4. http://sales.hamamatsu.com/assets/applications/SSD/Characteristics_and_use_of__FFT-CCD.pdf
  5. http://jp.hamamatsu.com/resources/products/ssd/pdf/tech/resistive_gate_ccd_e.pdf

Скачать статью в формате PDF  Скачать статью Компоненты и технологии PDF

 


Другие статьи по данной теме:

Сообщить об ошибке